BILZ LTO光學(xué)實驗平臺采用新型隔振機(jī)構(gòu),大幅度提高了超微振動絕緣性能。在半導(dǎo)體行業(yè)等超精密加工領(lǐng)域,制造、檢驗、測量的精細(xì)程度須達(dá)到納米級和埃級,BILZ LTO光學(xué)實驗平臺捕捉了這種時代的需求。
BILZ LTO光學(xué)實驗平臺采用新型隔振機(jī)構(gòu),大幅度提高了超微振動絕緣性能。在半導(dǎo)體行業(yè)等超精密加工領(lǐng)域,制造、檢驗、測量的精細(xì)程度須達(dá)到納米級和埃級,BILZ LTO光學(xué)實驗平臺捕捉了這種時代的需求。
LTO光學(xué)實驗平臺產(chǎn)品,除采用新型隔振機(jī)構(gòu)以外,還擁有徹底考慮了振動絕緣的臺架結(jié)構(gòu),與設(shè)置環(huán)境四配的簡單設(shè)計,以及操作方便的眾多可選擇品種。他們能為高分辨率檢查、超微細(xì)部觀黎及測定等高端的精細(xì)業(yè)務(wù)提供高性能的隔振效果。
BILZ光學(xué)實驗平臺的特點是高端的品質(zhì)和功能。
產(chǎn)品描述
可調(diào)節(jié)臺腳,抗扭曲,焊接鋼結(jié)構(gòu)。
框架和板之間采用薄膜空氣彈簧隔振裝置BiAir(垂直固有頻率大約2Hz)。
機(jī)械氣動水平控制(水平精度± 1/100 mm 或者± 1/10 mm)。
應(yīng)用范圍
激光光學(xué)儀系統(tǒng)。
特殊的顯微鏡。
光學(xué)平臺
天然高阻尼 HD 鋁蜂窩芯 無螺紋金屬蓋板。天然高阻尼HDT鋁蜂窩芯 螺紋金屬蓋板。
結(jié)構(gòu)說明
蓋板:5mm 表面密迪紋拋亞光處理磁性不銹鋼平臺。
工作面精度:平面粗糙度優(yōu)于0.8μm,平面度為≤0.10 ㎜/㎡。
基板:鋼板。
螺紋:M6(HDT)。
核心:(HD/T)0.1mm 鋁制蜂窩芯與金屬板用特殊樹脂粘接精密成型。
螺紋:平臺表面布有標(biāo)準(zhǔn)公制螺紋孔M6,孔距分別為25mm×25mm 均布陣列孔,邊排孔中心距邊均為50mm。
光學(xué)平臺重量較輕,提供完美的阻尼。
BILZ LTO 阻尼特性蜂窩板已被優(yōu)化,HD 系列內(nèi)部高阻尼系數(shù)將高頻共振和典型的高頻范圍振動完全消除。
LTO OPTICAL TABLE STANDARD SIZES | |||||||
Dimensions | LTO 60-50 | LTO 90-60 | LTO 120-60 | LTO 150-90 | LTO 200-100 | LTO 240-120 | LTO 300-150 |
Width[mm] | 600 | 900 | 1200 | 1500 | 2000 | 2400 | 3000 |
Depth[mm] | 500 | 600 | 600 | 900 | 1000 | 1200 | 1500 |
Thickness[mm] | 100 | 100 | 100 | 150 | 200 | 200 | 300 |
Working height[mm] | 760 | 760 | 760 | 760 | 760 | 760 | 760 |
max.Load[N] | 1500 | 2000 | 3000 | 5000 | 5000 | 7500 | 7500 |