產(chǎn)品特點(diǎn)：

<<  閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu)

<<  直驅(qū)驅(qū)動(dòng)，零齒槽效應(yīng)

<<  高速度穩(wěn)定性

<<  納米級(jí)跳動(dòng)誤差

<<  重復(fù)定位精度±0.5角秒

背景介紹

       QFR系列氣浮旋轉(zhuǎn)臺(tái)在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)跳動(dòng)。QFR的設(shè)計(jì)滿足生物檢測(cè)、晶圓檢測(cè)、高精度計(jì)量、X射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測(cè)和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等高端行業(yè)。

密封式設(shè)計(jì)

       對(duì)QFR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，使工作臺(tái)面降到最低，這種設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)有效的降低了工作點(diǎn)的高度，最大減少了因與其他軸疊層安裝引起的阿貝誤差。密封式結(jié)構(gòu)具有高剛度和大負(fù)載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差比較小，由此產(chǎn)生的面誤差明顯優(yōu)于其它氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)或氣浮主軸，有利于各種應(yīng)用。

非接觸式結(jié)構(gòu)

        QFR采用無(wú)齒槽無(wú)刷電機(jī)和氣浮軸承，極大的提高了定位性能。電機(jī)采用先進(jìn)的磁路設(shè)計(jì)，以最小的熱量產(chǎn)生高扭矩輸出，無(wú)齒槽設(shè)計(jì)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，這使得QFR非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉(zhuǎn)等應(yīng)用。

高精度性能

       氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)采用精密圓光柵反饋，先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)控制對(duì)光柵柵距細(xì)分，分辨率0.01角秒，軸向跳動(dòng)誤差＜80nm。

定制化設(shè)計(jì)

       氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)可安裝滑環(huán)，用于測(cè)試速度穩(wěn)定性，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。

規(guī)格指標(biāo)

注：1. 空氣供應(yīng)需清潔，干燥至0°F露點(diǎn)，灰塵顆粒過(guò)濾≤0.25um或純度99.99%氮?dú)狻?

       2. 以上精度測(cè)量的測(cè)試位置在工作臺(tái)面中心以上25mm處，測(cè)試環(huán)境溫度20±1℃，濕度40%-60%RH.

外形尺寸