你知道氣浮運動臺的優(yōu)勢嗎？

      隨著半導體進入到快速發(fā)展的階段，相應的加工檢測設備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運動臺，這是一款高精度的設備，主要作用于半導體加工、檢測，微納加工，測試測量等，大家知道它到底有哪些優(yōu)勢嗎？現(xiàn)在跟著上海書敏工業(yè)設備有限公司一起來了解一下吧。
      1. 直線度和平面度高
      2. 定位精度和重復定位高
      3. 速度穩(wěn)定性高
      4. 偏擺、俯仰、滾動精度高
      氣浮運動臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導軌，材質分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度，實現(xiàn)相對大速度2米/秒，能夠擁有4G的加速度，而且承載的能力也非常的出色，所以在目前的市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認可，只是當我們在選擇設備時，或許也會存在很多的疑惑，比如說要選擇哪種材質的氣浮導軌。
      其實材質的選擇是跟用戶的應用有著緊密的聯(lián)系，單從性價比角度了解，碳化硅陶瓷材質的氣浮運動臺精度高，當然成本也昂貴，鋁合金與大理石材質的同樣性能比較，鋁合金的加工難度大些，成本較高，大理石的成本較便宜些。
      利用先進的直線電機驅動，選擇無鐵芯設計，特點是無齒槽效應，高動態(tài)性能及電流噪音小等，所以在運動的過程中能夠實現(xiàn)超平穩(wěn)的效果，另外配置光柵尺閉環(huán)反饋及先進性的控制系統(tǒng)，獲得高定位精度和重復定位精度，控制器對光柵尺65536倍細分，獲得納米級微動步距。
      所以從各個方向的優(yōu)勢來看，氣浮運動臺已經(jīng)成為當前從事高精密應用行業(yè)的選擇，能夠提高整個系統(tǒng)的精度性能。
      以上是上海書敏工業(yè)設備有限公司為大家整理的氣浮運動臺的優(yōu)勢，相信大家看完本文后對氣浮運動臺也有了一定的了解了吧，如需了解更多資訊，歡迎來電資訊。