磁場補償系統(tǒng)在世界各地安裝了500多臺掃描電鏡和透射電鏡。連續(xù)補償從直流到10千赫。小尺寸三軸磁通門磁場I OE傳感器，具有亞納米分辨率和高穩(wěn)定性.顯示和報警功能。高可靠性通過穩(wěn)健的類比設(shè)計，易于編程。

TEM的磁場規(guī)范通常比SEM更嚴(yán)格。大尺寸TEM柱要求磁場均勻?，F(xiàn)場測量中所需的磁場梯度測量。補償線圈的定制規(guī)劃是補償線圈均勻性的必要條件。

磁場測量采用三軸磁場傳感器，安裝在SEM/TEM柱2上.反向場是由連接到反饋控制器的電流-直通電纜環(huán)產(chǎn)生的。