產(chǎn)品特點(diǎn)

<<  非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)

<<  重復(fù)定位精度±75nm

<<  微動(dòng)步進(jìn)5nm

<<  結(jié)構(gòu)緊湊、精度高

<<  優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

<<  Z軸低摩擦氣缸配重減輕Z軸電機(jī)出力

<<  根據(jù)需求可定制

背景介紹

       QFL3D系列是目前我司制造的性能卓越，結(jié)構(gòu)緊湊的三軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)。廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量，掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等行業(yè)。由于非接觸式運(yùn)動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。

直線臺(tái)設(shè)計(jì)

       QFL3D是一款非接觸式預(yù)負(fù)載氣浮直線臺(tái)，氣浮非接觸式結(jié)構(gòu)已經(jīng)證明是精密應(yīng)用中的理想選擇，適用于微納制造，測試測量和光子學(xué)對(duì)準(zhǔn)等應(yīng)用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點(diǎn)，無論是微動(dòng)步進(jìn)，還是速度穩(wěn)定性的要求，QFL3D都證明是最終的解決方案。

定制化設(shè)計(jì)

       根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結(jié)構(gòu)，如單軸Z軸低摩擦氣缸配重結(jié)構(gòu)，雙軸T形曲面加工結(jié)構(gòu)和三軸間行程大小等都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到最小，各軸也可以定制化，保證精度性能。

線纜優(yōu)化管理

       經(jīng)過多年的研究，線纜管理對(duì)精指標(biāo)度有影響，我們精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺(tái)的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保無故障操作，減少停機(jī)時(shí)間。同時(shí)使設(shè)備外觀更整潔，創(chuàng)造良好的作業(yè)環(huán)境。

潔凈室兼容性

       氣浮軸承本質(zhì)上與潔凈室環(huán)境兼容，高質(zhì)量的無塵線纜管理系統(tǒng)也符合實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

規(guī)格指標(biāo)

 注：1. 空氣供應(yīng)需清潔，干燥至0°F露點(diǎn)，灰塵顆粒過濾≤0.25um或純度99.99%氮?dú)狻?

        2. 以上精度測量的測試位置在工作臺(tái)面中心以上25mm處，測試環(huán)境溫度20±1℃，濕度40%-60%RH.

外形尺寸