產(chǎn)品特點

<<  采用碳化硅陶瓷氣浮導(dǎo)軌，超性能精度

<<  速度1m/s，加速度4g，快速的整定時間

<<  Y軸雙驅(qū)雙龍門結(jié)構(gòu)，承載能力強(qiáng)

<<  可選光柵或激光干涉儀位置反饋

<<  定位精度±0.15um，重復(fù)定位精度±75nm

<<  優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)

<<  根據(jù)需求可定制

背景介紹

       隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備的性能必須提高，我司在運動控制上有著豐富的定位經(jīng)驗，推出了一款平面式H形雙軸超精密氣浮運動臺。QFHDS采用有限元分析優(yōu)化的碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)和氣浮軸承補償設(shè)計技術(shù)，提高精度的同時，也提供了最高動態(tài)性能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工、納米級飛切拋光加工及高速掃描等行業(yè)。

超精度設(shè)計

       QFHDS結(jié)構(gòu)采用先進(jìn)的碳化硅陶瓷設(shè)計，比鋁合金氣浮導(dǎo)軌性能約高5倍，熱膨脹系數(shù)約低5倍。用此材料及結(jié)構(gòu)提升了動態(tài)跟蹤誤差，高速響應(yīng)頻率及位置穩(wěn)定性，速度達(dá)到1m/s,加速度可達(dá)4g.利用多年的氣浮軸承制造經(jīng)驗，開發(fā)一種新的氣浮軸承補償方法，提高了剛性和負(fù)載能力，以滿足高動態(tài)響應(yīng)的要求，可實現(xiàn)快速運動和非?？斓奈恢谜?。

       根據(jù)應(yīng)用，QFHDS可用于主動或被動隔振系統(tǒng)，可安裝旋轉(zhuǎn)臺，傾角臺或晶圓裝卸用的夾具等，整套設(shè)備可以提供焊接件底座，花崗巖基座或主動被動隔振臺等。

       我們精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質(zhì)量的電纜，以確保無故障操作，減少停機(jī)時間。同時使設(shè)備外觀更整潔，創(chuàng)造良好的作業(yè)環(huán)境。

非接觸式直驅(qū)設(shè)計

       QFHDS的核心是運用了先進(jìn)的直線電機(jī)，采用了無鐵芯設(shè)計，實現(xiàn)了超平穩(wěn)的運動。步進(jìn)軸和掃描軸使用多個電機(jī)驅(qū)動，安裝位置接近于負(fù)載水平面，以提高直線度、平面度和傾角誤差等，同時電機(jī)是隔熱的，對于高占空比應(yīng)用，電機(jī)可選水冷或氣冷，盡量避免因電機(jī)發(fā)熱引起的誤差。

規(guī)格指標(biāo)

 注：1. 空氣供應(yīng)需清潔，干燥至0°F露點，灰塵顆粒過濾≤0.25um或純度99.99%氮氣。

         2. 以上精度測量的測試位置在工作臺面中心以上25mm處，測試環(huán)境溫度20±1℃，濕度40%-60%RH.

外形尺寸